傳感器類型

熱式繞組傳感器

閥門

比例電磁閥（斷電時關閉）

流量量程(N?換算)

10SCCM～10SLM
30SLM

控制范圍

2～100%F.S.

響應性

1sec以內

精度

±1%S.P.(10～100%F.S.)
±0.1%F.S.(2～10%F.S.)

重現性

±0.2%F.S

動作壓差

50～300kPa
200～300kPa

入口最大壓力

300kPa(G)

耐壓

1MPa(G)

He泄漏率

1×10-11Pa?m3/sec以下

允許環境溫度

5～50℃

精度保證溫度

15～40℃

允許保存溫度

0～60℃

允許環境濕度

0～80%RH(未出現冷凝)

接觸氣體部位材質

SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni

通訊接口(只限RS485)

D-sub9pin、RJ45×2

流量設定信號(只限RS485)

0～5VDC（輸入阻抗約1MΩ）
or 4～20mA（輸入阻抗約250Ω）

流量出力信號(只限RS485)

0～5VDC(負載電阻10kΩ以上)
or 4～20mA(負載電阻500Ω以下)

數字通信

RS485/DeviceNet®/EtherCAT®

電源

11～25VDC(5VA max)

接頭?平面尺寸

1.125"W型92mm
1/4"VCR相當

重量

約1,000g